激光加工根据激光与物质的作用机制可分为激光热加工和“冷”加工，激光“冷”加工也叫激光光化学加工，是指激光加工材料时，材料中的化学键吸收激光单个光子或多个光子的能量，引发或控制材料间的化学反应，导致材料中化学键的断裂、重组，晶格结构被破坏或者能级跃迁，生成新物质及使部分材料离开本体，来达到加工的目的。
激光光化学作用在短波长紫外激光加工中更为明显，这类激光的光子能量大，材料分子可能通过“单光子吸收”或“多光子吸收”的方式，使积聚的光子能量大于分子间结合力，材料的化学键被打断;并有效地减少激光热缺陷，因此，激光光化学加工在硬脆材料的精密及超精密加工中应用广泛。
激光对材料的光化学作用产生新物质或改变其组成及结构，并可能导致基体材料的物理化学特性发生改变。国内外学者对激光光化学作用进行了大量的实验研究，主要依据对激光加工过程的中间产物、最终产物及表面形貌结构等的检测分析，并结合加工参数及材料的相关性质。本文主要介绍了当前激光加工过程中研究光化学作用及过程所使用的各种检测分析方法，并通过研究案例分析了各种检测分析方法所起的作用。
激光光化学作用的机理研究目前主要通过对激光加工前后材料的结构变化、组成成分、物理化学特性等变化的检测和加工表面的微观观察结果分析推断的。
加工表面结构变化的检测分析方法
目前，用于激光加工后材料特别是晶体和聚合物材料的结构变化的主要检测分析方法有：拉曼光谱、红外光谱、X射线衍射、紫外可见光吸收光谱、核磁共振光谱等。
激光光化学作用生成新的产物主要通过两条途径：一条是离解反应，另一条是分子骨架重排产生的异构化反应。其本质都是材料分子内或分子间的化学键发生了断裂或重组，分子键的断裂总是从最弱的化学键开始，选择适当波长的激光能导致分子的离解或异构化，激光对聚合物加工产生的光化学反应可能还包括了生成自由基、光离子化、环化等过程.采用光谱分析或X射线衍射(晶体)分析方法检测分析激光加工后材料的结构变化，其主要方法是，采集激光作用前后材料的光谱图或X射线衍射图谱，结合材料的结构知识理论及相关标准图谱进行分析，确定激光加工中光化学作用可能导致的材料的结构和物相变化。
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